ИСМАН - Лаборатория Физического Материаловедения

Институт структурной макрокинетики и проблем материаловедения РАН

Экспериментальные методики

Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп сверхвысокого разрешения Zeiss Ultra plus на базе Ultra 55, Германия (Zeiss Ultra plus Field Emission Scanning Electron Microscope)

Научный сотрудник Сачкова Н.В.

Возможности прибора:
исследование наноструктур порошков и массивных образцов.
Разрешение во вторичных электронах:

1 нм при 15 кВ при WD = 2 мм
1,7 нм при 1 кВ при WD = 2 мм
4,0 нм при 100 В при WD = 2 мм

Увеличение 12 – 1000000.
Ускоряющее напряжение 0,02 В – 30 кВ.
Ток зонда 4 пА – 20 nА.
Установленные детекторы:

вторичных электронов внутрилинзовый In-Lens
вторичных электронов боковой SE2
отражённых электронов с селекцией по углу выхода AsB (изображение COMPO, TOPO).Композиционный контраст.
отражённых электронов с селекцией по энергии выхода EsB.Фазовый контраст.

Система микроанализа INCA Energy 350 XT фирмы Oxford Instruments.
Разрешение 123,84 эВ FWHM при 5,895 кэВ (Mn).
Количественный анализ 5B – 94Pu.
Анализ в точке, анализ вдоль произвольно заданной линии, анализ по произвольно заданной площади, анализ по массиву точек, построение карт распределения элементов по поверхности образца, идентификация фаз.