Экспериментальные методики
Рентгеновский микроанализатор JCXA-733 «Superprobe», JEOL, Япония
Electron probe X-Ray Microanalyser JCXA-733 JEOL «Superprobe» INCA Energy SEM 300 Microanalysis System
Electron probe X-Ray Microanalyser JCXA-733 JEOL «Superprobe» INCA Energy SEM 300 Microanalysis System
Система энергодисперсионного микроанализа INCA Energy SEM 300, Oxford Instrument. Разрешение 133 эВ при 5,9 keV (Mn),
анализируемые элементы с 5B до 92U. Разрешение во вторичных электронах в режиме SEI 7 нм, увеличение 40 – 360000,
ток зонда 10-12 – 10-5 А, ускоряющее напряжение 1 – 50 кВ, анализируемые элементы 5B – 92U.
Возможности прибора:
Возможности прибора:
- изображение во вторичных электронах (режим SEI);
- изображение в отражённых электронах (режимы COMPO, TOPO);
- изображение в характеристическом рентгеновском излучении (режим X-Ray);
- Качественный и количественный элементный анализ с 5B до 92U с помощью стандартных спектрометров и с помощью
энергодисперсионного спектрометра (экспресс-анализ)
- в точке 5 – 100 мкм2
- с площади max ≈ 0,5 см2
- результаты в % весовых и % атомных.
- Профили распределения элементов (количественно и качественно) вдоль выбранной линии на образце, непрерывно и с заданным шагом.
- Распределение элементов по площади на выбранном участке образца, качественное и количественное. Получение изображения «Cameo+».
- Определение количества фаз, их размера и состава.
- Определение размера частиц порошков, состава порошков, состава отдельных частиц в порошках.
- Определение толщины покрытий, состава покрытий, профили распределения элементов.
- Сравнение спектров, полученных с разных участков образца при разных условиях.
- Запись спектров, изображений карт распределения элементов и линий сканирования в файлы различных форматов.